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什么是蚀刻?
浏览: 发布日期:2019-10-23
蚀刻是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为『湿蚀刻』(wet etching)及『干蚀刻』(dry etching)两类。在湿蚀刻中是使用化学溶液,经由化学反应以达到蚀刻的目的,而干蚀刻通常是一种电浆蚀刻(plasma etching),电浆蚀刻中的蚀刻的作用,可能是电浆中离子撞击芯片表面的物理作用,或者可能是电浆中活性自由基(Radical)与芯片表面原子间的化学反应,甚至也可能是这两者的复合作用。在航空、机械、标牌工业中,蚀刻技术广泛地被使用于减轻重量(Weight Reduction)仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等之加工。在半导体和线路版制程上,蚀刻更是不可或缺的技术。